Вакуумный затвор – специальнле устройство, позволяющее отрегулировать движение газа или воздуха в вакуумной системе. Для этого затворный механизм частично перекрывает, полностью закрывает или открывает входное отверстие клапана.
Содержание:
Конструктивные особенности
В конструкции любого агрегата есть 3 элементы: привод, затвор и корпус. За счет привода начинается движение других составляющих, которые могут перекрыть или открыть отверстие. Корпус является герметичным объемом, подключается через фланцы прямо к вакуумным установкам. Если сравнить оборудование с клапанами, то тарелка затвора двигается по перпендикулярной линии к газовому потоку, что дает максимальную эффективность проводимости при открытии. В результате затворы лучше подходят для агрегатов создающих вакуумную среду, а также их целесообразно устанавливать для молекулярного режима перемещения газообразных масс (турбомолекулярные, ионногетерные или криогенные аппараты).
Конструктивные особенности
Виды вакуумных затворов
Оборудование может быть оснащено любым видом привода. Основные:
- Ручной;
- Пневматический;
- Электромеханический.
В дополнение они включают разные группы уплотнений, среди которых сильфонные типы для штока, есть электрополировка внутренних элементов, а точнее их поверхности. Основная среда для функционирования – воздух или газ, который не вызывает развитие коррозии.
Виды вакуумных затворов
Фланцы могут быть разных размеров, поэтому перед выбором необходимо понимать их стандарты крепления:
- CF (Conflat);
- KF (Klein Flange);
- ISO-K/ISO-F (Large Flance).
От выбранных агрегатов и методов крепежа будет зависеть быстродействие открытия или закрытий отверстий. В зависимости от производителя и конструктива агрегаты могут быть с повышенным сроком службы до первого технического обслуживания, включают охлаждение водяного типа, а также имеют специальное назначение. Все приборы, у которых условный диаметр прохода DN 63 и более, имеют дополнительный датчик положения, он нужен для точной корректировки положения тарелки.
К доступным сегодня видам затворов можно отнести следующие виды:
- Сильфонные с ручным приводом – применяются для систем, создающих высокий и сверхвысокий вакуум, подходят в качестве запорной арматуры. Срабатывание происходит при помощи оператора, вручную. Среди основных методов подключения есть стандарты ISO-KF, ISO-F, CF. Изготавливаются чаще из нержавеющей стали;
- Сильфонные с электромеханическим приводом – оборудование, которое эксплуатируется в различных магистралях и конструкциях в виде запорной арматуры. Действие основано на работе шарового или электрического двигателя. В первом случае прибор может применяться как регулирующая арматура для контроля скорости транспортировка газа. Для подключения используются стандарты ISO-F, CF;
- Дисковые – высоковакуумный тип уплотнений, который проводится без сильфона. На штоке есть тарелка, при ее вращении происходит полная изоляция вакуума. Элемент может быть с любым вариантом привода, в случае наличия электромеханического используется в системе стабилизации давления благодаря возможности управления скорости откачки. Оборудование доступно с фланцами ISO-KF, ISO-F, CF;
- Щелевые – используются в различных вакуумных установках для плотной изоляции, выполнения шлюзования. Главная сфера эксплуатации в полупроводниковых агрегатах, которые используют промышленности и исследовательские центры. Привод пневматический двухстороннего действия. Основные материалы – нержавейка, конструкция подходит для передачи подложек размером до 300 мм.
Сфера использования вакуумных затворов
Основная задача оборудования после монтажа в систему – перекрытие вакуумной среды с полной герметизацией в пределах конкретного давления. Затворы можно использовать как страховочный элемент, чтобы сохранить в камере или магистрали среду после извлечения больших объектов из разряженной области.
Кроме основных задач агрегаты подходят для изоляции отдельных узлов агрегатов. В данном случае при высоком вакууме прибор не может дать правильное функционирование всей установки, нужно будет внедрять специальную арматуру. При действии системы не рекомендуется постоянно вращать краны и затворы, а если в этом будет потребность, то действовать с осторожностью, чтобы сохранить смазку на них. Применение таких изделий позволяет увеличить проходное отверстие и уменьшать период открытия или закрытия.
К основным задачам относят:
- Обеспечение герметичной среды для транспортировки газов;
- Полная изоляция отсеков;
- Последовательность функционирования вакуумных систем.
Сфера использования вакуумных затворов
За счет принципа действия и движения тарелки затвора, элемент получается минимальной длины с идеальной проводимостью на определенном участке. В зависимости от производителя и модификации характеристики могут несколько отличаться. Герметичность определяется газовыми потоками при помощи уплотнений. Доступные пределы 10-7-10-11 Па х м3/с. Срабатывание любого вида очень быстрое, а ресурс зависит от количества циклов открытия и закрытия. При выборе можно заметить большое количество производителей, предлагающих подобный товар. Нужно учитывать, что арматура должна быть идеального качества, чтобы сделать герметичную систему во время использования. Товары отечественного и европейского производства хорошо себя зарекомендовали, даже китайские аналоги соответствующего качества, они ремонтопригодны и доступны.