| Азимутальное вращение | Непрерывное с охлаждением LN2 |
| Базовый фланец | CF64 114 мм OD C / CF100 152 мм OD C |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Максимальный размер выборки | диаметр 25 мм |
| Модель | XL-T Puck-Style |
| Назначение | Промышленный |
| Охлаждение LN2, °C | -150 |
| Полярное вращение | +/- 180° |
| Резистивный нагрев, °C | 900 |
| Серия | XL-T |
| Ход по XY, мм | +-12,5 |
| Ход по Z, мм | 50, 100, 150, 250 |
| Электронно-лучевой нагрев, °C | 1200 |
| Страна | США |
| Производитель | Kurt J. Lesker |
