Геттерно-ионный насос — применение, принцип действия геттерного и ионного агрегата, достоинства насоса
Для создания вакуума в высоком и сверхвысокм диапазоне используют геттерно-ионный насос. Предварительная откачка нужна для создания разряжения, чтобы улучшать характеристики субстанции. Разброс цен связан с выпуском компактных и промышленных агрегатов с возможностью удаленного управления.
Содержание:
- Геттерно-ионный насос — особенности конструкции
- Геттерный и ионный насос — принцип действия
- Покупка магниторазрядного агрегата
Геттерно-ионный насос — особенности конструкции
Конструкция гибридного геттерно-ионного агрегата позволяет установить внутри несколько электродных блоков. Главным компонентом будет пара из анода и катодов. При изготовлении подбирают сплав титана, способный выдерживать высокие температуры и напряжение без потери свойств.
- Скорость откачки примерно 400 л/с. Для увеличения на 30 % понадобится дополнительный диффузионный прибор;
- Отсутствие движущихся компонентов избавляет от смазки;
- Процесс обработки позволит задействовать разные системы охлаждения;
- Между анодом и катодом подается напряжение через специальный высоковольтный ввод.
Геттерно-ионный насос
В магниторазрядном насосе встраивают с внешней стороны магниты для поддержки магнитного поля. Выпускают диодные и триодные модели, которые почти не отличаются по конструкции и принципу работы.
Геттерный и ионный насос — принцип действия
Комбинированная модель совмещает методы геттерной и ионной откачки. Процессы протекают параллельно с учетом принципа действия двух типов оборудования. Геттерный вакуумный насос сумеет поглощать газы (не инертные) после распыления активных металлов (геттеров). В результате образуются окислы и твердые растворы при комнатной температуре. В качестве распыляемых материалов берут титан, хром или молибден.
После подачи тока происходит термический нагрев проволоки из титана. Воздействовать на пластину удается при помощи внутреннего нагревателя или бомбардировки электронным лучом. Ускорение процесса требует создания предварительного разряжения. Подключается турбомолекулярный или диффузионный агрегат, способствующий откачке инертных газов.
Геттерный и ионный насос — принцип действия
В ионных вакуумных приборах для ионизации молекул используют газовый разряд или ионизатор. Процесс обработки разделяется на этапы:
- Отрицательный потенциал электродов позволит обработать их поверхность положительными ионами;
- Наблюдается проникновение внутрь электрода (титан, молибден);
- Для обратного выделения повышают концентрацию газа;
- Начинается электронная бомбардировка для воздействия на частицы;
- Уменьшение откачки приводит к концентрации газов.
Ионный метод отличает небольшая скорость откачки. Сверхвысокий вакуум образуется в незначительных объемах.
В геттерно-ионных агрегатах удается проводить непрерывное напыление несколькими способами (плавление или термическое испарение). Встроен ионизатор с горячим катодом. Возбуждение создает оптимальные условия для связывания инертных газов.
Задача прибора заключена в одновременной блокировке (инертных) и хемосорбции (активных) газов. В вакууме всегда присутствуют электроны. После воздействия электрическим и магнитным полем возникает движение. Спиралевидная траектория гарантирует перемещение от анода к катоду до столкновения с атомами газа. Скорость возникших ионов будет возрастать из-за воздействия электрического поля. Добавленной энергии вполне хватит для выбивания частиц титана.
Распыление с поверхности катода связано с адсорбцией и растворением химических соединений. Не исключается частичная диффузия. Выбитые молекулы будут осаждаться на стенках корпуса и аноде.
Покупка геттерно-ионного насоса
Эффективности геттерно-ионного откачивания способствует возросшая активность ионизированных молекул. Ускоряется частота проникновения в поверхность и внутрь геттера. Конструкция магниторазрядного вакуумного насоса дает ряд преимуществ.
- Отсутствие подвижных элементов избавляет от быстрого износа и замены;
- Процесс не сопровождается шумом и отсутствует вибрация;
- Разряд тока соответствует давлению закаченного объема. Для упрощенного управления вставляют сенсорный дисплей, указывающий параметры давления и напряжения;
- Аварийное отключение электроэнергии не приводит к поломке.
Покупка геттерно-ионного насоса
Отсутствие масла даст возможность выдавать чистый сверхвысокий вакуум. Время функционирования дополнительных форвакуумных устройств ограничено. Геттерные приборы подходят для ускорителей частиц и герметизированного электронного оборудования. Автономные установки имеют разные габариты и обеспечивают нужную быстроту действия (от 1 до 750 л/с).
Применяются для откачки реактивных газов. Предусмотрено удаление метана и благородных газов. Продуктивность зависит от температуры и состава субстанции. Повышение температуры необходимо при непрерывной откачке. Магниторазрядный агрегат выгодно использовать для откачки водорода. Скорость многократно возрастает и геттер обладает регенерационными свойствами, которые проявляются при нагревании. Способность саморегулироваться продлевает срок службы.